臺式掃描電鏡是一種緊湊型、操作簡便的電子顯微設備，其核心原理與傳統落地式掃描電鏡(SEM)一致，但通過小型化設計實現了更高的靈活性和易用性，通過高能電子束掃描樣品表面，利用電子與樣品相互作用產生的信號(如二次電子、背散射電子、特征X射線等)進行成像和分析。
-二次電子(SE)：反映樣品表面形貌信息，分辨率高，適合觀察微觀結構的細節。
-背散射電子(BSE)：與樣品成分相關，可區分不同元素的區域，分辨率約8nm20kV。
-特征X射線：用于元素分析(結合EDS能譜儀)，可識別樣品中的元素組成。
-電子槍發射的電子束經電磁透鏡聚焦后，通過偏轉線圈逐點掃描樣品，探測器收集信號并轉換為電信號，通過計算機生成高分辨率圖像或元素分布圖。
臺式掃描電鏡的使用注意事項：
-樣品必須干燥、無油、無磁，且具有良好的導電性。對于不導電的樣品，要進行適當的導電處理，否則會影響成像效果甚至損壞儀器。
-樣品的尺寸要符合儀器的要求，不能過大或過小，以免影響觀察或無法放入樣品室。
-在操作過程中，要嚴格按照儀器的操作規程進行，避免誤操作導致儀器損壞。例如，在抽真空和恢復常壓時，要緩慢操作，避免因氣壓變化產生沖擊而影響儀器內部部件。
-各旋鈕、開關的使用要輕柔，不可用力過猛，以免損壞儀器。
-定期檢查真空系統的密封性，確保無漏氣現象。如發現真空度下降明顯或無法達到工作要求，應及時查找原因并進行維修。
-注意真空泵的運行情況，定期更換真空泵油，保持真空泵的良好性能。
-在關閉電子槍后，要及時關閉相關電源，防止電子槍受到意外的電壓沖擊。
-臺式掃描電鏡應放置在干燥、通風、無灰塵、無振動的環境中，避免陽光直射和溫度過高或過低。環境的濕度一般應控制在40~60，溫度應保持在20℃~25℃。
-儀器周圍要避免有強磁場、強電場等干擾源，以免影響儀器的正常工作和測量結果的準確性。
